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インフィードとクリープフィード
◆加工実例
インフィードとは砥石とWaferが同じ方向で回転しながら砥石とWaferの距離を一定速度で近づけて行く事で研削する方法です。昨今の高精度/高品質化に伴いインフィードグラインダーが主流になってます。
装置
DFG
82
I/F8, DFG800, 8000
シリーズ
砥石
IF
タイプ
装置
DFG
83
H/
6
砥石
RS
タイプ
インフィード方式の特徴
クリープフィード方式の特徴
・ハイトゲージの使用によるホイール摩耗管理、ウェーハ間厚さばらつきの低減
・レジノイドボンドの使用が容易
・研削量に応じてスループットが変わる
・結晶方位やチップ形状に合わせて研削方向を調整できる
・ウェーハ厚さばらつきの調整が難しい
◆お問合せ
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