アプリケーション実例集
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ソリューション


インフィードとクリープフィード

◆加工実例
インフィードとは砥石とWaferが同じ方向で回転しながら砥石とWaferの距離を一定速度で近づけて行く事で研削する方法です。昨今の高精度/高品質化に伴いインフィードグラインダーが主流になってます。
装置 DFG82I/F8, DFG800, 8000シリーズ
砥石 IFタイプ
装置 DFG83H/6
砥石 RSタイプ
インフィード方式の特徴
クリープフィード方式の特徴
・ハイトゲージの使用によるホイール摩耗管理、ウェーハ間厚さばらつきの低減
・レジノイドボンドの使用が容易
・研削量に応じてスループットが変わる
・結晶方位やチップ形状に合わせて研削方向を調整できる
・ウェーハ厚さばらつきの調整が難しい


◆お問合せ
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