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ディスコHOME > ソリューション > アプリケーション実例集 > ダイシング | |
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パーティクル対策-3 |
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| 加工中に発生したパーティクル*は、ウェーハ表面が乾くと完全に除去することが難しくなります。パーティクルがウェーハ表面に固着してしまうためです。 *ウェーハに付着した、加工時に発生した切削屑などの残留物 |
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◆加工実例 |
| ウェーハ表面膜は撥水性の高いタイプほど乾きやすい傾向があります。ディスコでは、撥水性の高いウェーハでのパーティクル付着を抑制する部品を開発しました。
Photo.2は開発された部品を使用してアルミ膜付きウェーハを加工したときのものです。Photo.1の改善前と比較して、パーティクルの付着が少ないことが分かります。
白っぽく見えているところがパーティクル付着箇所です。 ディスコでは、お客さまのデバイスや加工環境に応じた最適なパーティクル対策をご提案いたします。パーティクル付着でお困りのお客さまはご相談ください。 |
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| ステイクリンについて |
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◆お問合せ
この内容に関するお問い合わせは、アプリケーションWebヘルプデスクにて承ります。
( お問い合せの流れ )
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