ソリューション

薄仕上げについて-4

ウェーハ(チップ)の薄仕上げを行う際には、「グラインディングホイール種」「研削条件」「表面保護テープ種」「装置設定」の的確な選定が必要です。今回はその中で「グラインディングホイール」選定のポイントについて紹介いたします。

◆加工実例

仕上げ厚さが薄くなるにつれ、ウェーハ外周部には欠けが発生しやすくなります。薄仕上げ時に外周部の状態を良好に保つためには、ホイールの粒径・ボンド種だけでなく、形状も重要なポイントになります。

Photo.1,2は粒径とボンド種は同一で、形状のみが異なるホイールを使用して研削した場合のウェーハ外周部比較写真です。
的確な形状のホイールを選定することで、外周部の状態が更に向上することがわかります。

Photo.1　ウェーハエッジ部
不的確な形状ホイール
Photo.2　ウェーハエッジ部
的確な形状ホイール

◆参考情報

薄仕上げについて

薄仕上げについて-2

薄仕上げについて-3

Kiru・Kezuru・Migaku特集　薄仕上げ研削

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