ソリューション

グラインダーZ1軸（粗研削)、Z2軸(仕上げ研削)の目的及び面状態の違い

◆加工実例

粗い砥石で仕上げ厚さ近傍まで高速で研削し、Z1のダメージを取り除くためや粗さを細かくするためにZ2の砥石で仕上げるのが一般的な方法です。

装置 DFG841 砥石 40/60-V		装置　DFG841 砥石　4/6-B-K09
	<40/60-Vの表面粗さ>

	<4/6-B-K09の表面粗さ>

Z1軸研削（粗研削)の目的／研削面状態・短時間で多くの量を除去するために粒径の大きな砥石で仕上げ厚近傍まで研削・研削面はZ2軸後に比べ曇っている・表面粗さはZ2軸後に比べ粗い・破砕層深さはZ2軸後に比べ深い		Z2軸研削(仕上げ研削)の目的／研削面状態・面状態をきれいにするために粒径の小さい砥石でZ1後のウェーハを仕上げ厚まで研削・研削面は鏡面に近い・表面粗さはZ1後に比べ細かい・破砕層深さはZ1後に比べ浅い

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