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ソリューション


ドライポリッシュによりチップ強度向上

◆加工実例
ディスコにて独自開発を行ったドライポリッシュを行うことで既存のストレスリリーフ方式(CMP、エッチング)と同等のチップ強度を得ることができます。なお、チップ強度測定は球抗折を採用しております。
チップ強度測定結果
チップ強度測定方法





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