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ディスコHOME > ソリューション > アプリケーション実例集 > ダイシング | |
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エッジトリミングの用途の多様化 |
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| ウェーハ薄化の割れ対策や小径ウェーハニーズに伴い、「エッジトリミング」が開発されました。 「エッジトリミング」とは、ウェーハエッジ部をあらかじめトリミングし、裏面研削時や搬送時のウェーハ割れ、カケを防止する方法です。 好評をいただいているこの「エッジトリミング」の使用例を紹介します。 |
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◆加工実例 |
| DISCOでは、ウェーハエッジ部を円形にダイシングすることを「エッジトリミング」と呼んでおり、用途に合わせた様々な使用方法を用意しています。
以下に使用例を記載します。 Figure:1 グラインディング時のエッジ状態比較 例2） ウェーハ径の変更 ◎既設装置の対応ウェーハ径にあわせるなどの用途で、ウェーハサイズを変更することが可能です。 Figure:2 ウェーハ径縮小 例3） エッジ部の不要物除去 ◎ウェーハ表面に形成された不要なPI膜や金属膜、樹脂等をエッジ部分から取り除くことが可能です。 ◎側面まで不要物が塗布されていて、グラインディングなどの加工に影響が出る場合でも、フルカットを実施することで、不要箇所を取り除くことも出来ます。 Figure:3 不要箇所の除去
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◆お問合せ
この内容に関するお問い合わせは、アプリケーションWebヘルプデスクにて承ります。
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