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ソリューション


ドライポリッシュ加工によるソーマーク除去・反り低減

◆加工実例
ドライポリッシュ加工を行うことによりチップ強度が上昇することは以前紹介いたしましたが(2002年11月18日公開)、それ以外にもグラインダー加工時に発生するソーマークを除去したり、グラインダー加工ひずみによって発生する反り量を低減することが可能です。

ドライポリッシュ除去量を増加させていくことで、以下のような効果を得ることが出来ます。
※1:ソーマーク除去前後の写真は2002/8/12掲載分をご参照ください。
※2:反り量低減効果は下記写真をご参照ください。
※3:チップ強度については2002/9/2掲載分をご参照ください。









Photo1. グラインダー加工後反り状態

Photo2. ドライポリッシュ加工後反り状態


一般的な保護テープでの50μm仕上げ時ミラーウェーハの状態です。



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