アプリケーション実例集
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ソリューション


高精度研削

◆加工実例

(変更後)
弊社のグラインダーはパターン実装後のウェーハ薄厚化(半導体製造後工程)以外にも、素材メーカー向け平坦加工にも利用されています。

加工目的
高平坦度が要求される素材ウェーハの平坦化を実現するためにグラインダー加工を実施。

研削後厚さチャート例


Fig.1 研削後写真

厳密な調整の実施により、上図のように面内ばらつき0.5um以内を実現できる可能性もあります。



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