ソリューション

TAIKO研削のメリット

TAIKO研削とは、ウェーハの最外周のエッジ部分を残し、内周のみを薄化する技術のことです。この技術の導入により、薄ウェーハの搬送リスクや、反りの低減などが実現します。

◆加工実例


Photo.1 TAIKOウェーハ

Photo.2,3,4は8インチSiウェーハを50um仕上げで研削したものです。#2000ホイール、ドライポリッシュホイールで全面研削したものに対して、TAIKO研削で仕上げたウェーハは反りを大幅に低減できていることが分かります。


Photo.2 Back grind #2000仕上げ	Photo.3 ドライポリッシュ仕上げ	Photo.4 TAIKO研削仕上げ

◆参考情報

TAIKO研削時のウェーハ最外周のエッジ幅

例:8インチノッチウェーハ　3mm
エッジ幅はウェーハサイズ、ウェーハタイプによって、異なります。

◆お問合せ

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