ソリューション

フレームチャック使用による研削（特許出願中）

◆加工実例

従来のチャックテーブルでは吸着ができず、加工が困難であったワーク（例：反りが著しく大きい/四角形状/楕円形状/チップ化済みワーク等）の吸着性がフレームチャックの使用により大幅に向上しました。ダイシングフレームを使用し、ワークの脱着がワンタッチで可能です。
　

加工実績
パッケージング(モールドされたチップ)後、樹脂塗布時の応力により大きな反りの発生したワーク、1/4形状にカットしたSiウェーハ、Siチップ、LT実装基盤等。

フレームチャック概略図

◆お問合せ

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