ソリューション

Fig.1は、AlTiCの6inch ウェーハ研削時の面内厚さバラつきです。

　　　　　　　　　　　　　　　Fig. 1　 面内厚さバラつき　　　　　　　　　　　　　　　Fig. 2　 厚み測定位置

Fig.3は #3000のホイールで仕上げ研削をおこなったAlTiCウェーハの表面粗さです。
仕上げ用砥石の選定により、さまざまな表面粗さを実現します。