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リチウムタンタレイト(LT)のダイシング

リチウムタンタレイトは硬くて脆い性質のため、一般的にSi等に比べてチッピングが発生しやすい素材です。 最適なブレードを選定することにより、加工品質の劣化や加工中のブレード損傷等を防止し、高品位な連続加工を安定して行うことが可能になります。

◆加工実例
Photo.1 改善後ブレード
(最適ブレード)
Photo.2 改善前ブレード
グラフ1 表面チッピングサイズ

◆参考情報
LT研削について

LTのDBG加工について



◆お問合せ
 この内容に関するお問い合わせは、アプリケーションWebヘルプデスクにて承ります。 ( お問い合せの流れ )





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