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ディスコHOME > ソリューション > アプリケーション実例集 > グラインディング | |
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研削における低負荷加工の重要性 |
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| 研削中に負荷がかかりすぎると、異常研削痕、ウェーハ破損、ウェーハエッジチッピング等の問題が発生します。特に、ウェーハを薄く仕上げるときや、中空構造のデバイスを研削するときは、前述の現象が発生しやすく、低負荷状態で研削することが重要です。 |
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◆加工実例 |
使用するホイール、加工条件を最適化することで、研削中の負荷を低減し、加工品質を改善することができます。
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◆お問合せ
この内容に関するお問い合わせは、アプリケーションWebヘルプデスクにて承ります。
( お問い合せの流れ )
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