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ソリューション


薄仕上げについて-2

◆加工実例
パッケージを小さく、薄くするためにウェーハ(チップ)の薄化が求められています。ウェーハ(チップ)の薄仕上げを行う為の重要な要素として、使用ホイール、研削条件、使用テープ及び装置設定の4大要素が必要不可欠となります。今回は、この4大要素について紹介します。

薄残し研削の4大要素
使用ホイール:低ダメージホイール
使用研削条件:低ダメージ条件
使用テープ:パターン吸収性向上テープ
装置設定:薄残し搬送仕様

薄仕上げについてはこれらの要素に一つでも不足するとウェーハの割れなどで研削ができなくなります。Discoでは多様な薄仕上げに対応できる様、研究開発を行っております。薄仕上げの詳しい条件については弊社営業にお問い合わせください。


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