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ソリューション
極薄ウェーハの紹介
装置/砥石/アプリケーションの3つの技術を合せることで、極薄ウェーハ研削も可能です。
◆加工実例
最適な条件で研削することで、Photo.1のようにウェーハ越しに手が透けるほど薄く研削できます。写真のウェーハはt5μmSiウェーハです。
Photo.1 t5μmSiウェーハ
◆お問合せ
この内容に関するお問い合わせは、アプリケーションWebヘルプデスクにて承ります。
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