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製品情報
グラインダ 仕様比較表
装置名称
機種選択
DFG830
DFG8540
DFG8560
機種選択
DFG830
DFG8540
DFG8560
研削可能ウェーハ径
切削方式
スピンドル
使用スピンドル
軸数
定格出力
(kW)
回転数
(min-1［rpm］)
Ｚ軸ストローク
(mm)
Ｚ軸切込送り速度
(mm/s)
Ｚ軸早送り速度
(mm/s)
Ｚ軸最小指令単位
(μm)
Ｚ軸最小分解能
(μm)
ハイトゲージ
測定範囲
(μm)
分解能
(μm)
繰り返し精度
(μm)
ウェーハ チャックテーブル
チャックテーブル型式
チャック方式
回転数
(min-1［rpm］)
チャックテーブル数
チャックテーブル洗浄
スパークアウト
（チャックテーブル回転設定）
使用砥石
ダイヤモンドホイール
(mm)
ウェーハ搬送部・洗浄部
カセットストレッジ数
カセット部フロー
スピンナユニット
バキュームユニット
排気速度
(m3/h)
到達圧力
(kPa・G)
電動機
(kW)
使用水量
(L/min)
加工精度
ウェーハ内の厚さバラツキ
(μm)
ウェーハ間の厚さバラツキ
(μm)
仕上がり面粗さ
(μm)
諸元
電圧
(kVA)
消費電力
加工時
(kW)
ウォーミングアップ時
(kW)
最大電力
(kVA)
エアー供給圧力
(MPa・G)
エアー流量
(L/min(ANR))
水源圧力
研削・洗浄用
(MPa・G)
スピンドル冷却水用
(MPa・G)
バキュームユニット用
(MPa・G)
水源流量
研削・洗浄用
(L/min)
スピンドル冷却水用
(L/min)
バキュームユニット用
(L/min)
ダクト排気量
(m3/min)
装置寸法（Ｗ×Ｄ×Ｈ）
(mm)
装置質量
(kg)
※本仕様は、改良のためお断りなく変更させていただくことがあります。ご発注の際には、ご確認いただけますようお願い致します。
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